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    金屬油擴散泵

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    K/TK/ULK型金屬油擴散泵適用于電子工業、電光源工業、真空鍍膜、真空冶煉、化學工業科研等各個領域。對被抽容器進行抽氣,使之達到高真空(可達標10-5Pa)目的。


    擴散泵主要由泵殼、泵芯、蒸發鍋、加熱器、冷卻水管組成。擴散泵適用于抽除高真空系統中對工作液體無嚴重危害的氣體。當前級泵將擴散泵內抽止10Pa左右的預真空后,在室溫下工作液由加熱器加熱,產生的油蒸汽沿導管向上運動,經幾級噴出,將擴散在油蒸汽中的氣體帶到前級端,由前級泵排除到大氣中,油蒸汽噴射在泵壁,遇到冷卻后,又回到泵底,由此重復工作達到高真空目的。



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